




五月繁華似錦,萬物欣欣向榮。5月18日,中船重工718所新材料一期項(xiàng)目正式投產(chǎn),二期項(xiàng)目開工建設(shè)。筆者從該集團(tuán)公司了解到,這標(biāo)志著718所三氟化氮等特種氣體產(chǎn)品產(chǎn)能將取得新的突破。
高純電子特種氣體被形容為半導(dǎo)體工業(yè)的“血液”和“糧食”,是大規(guī)模集成電路、多晶硅、太陽能、光纖等先進(jìn)制造業(yè)的重要原材料,屬于國家加快扶持發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。然而早些年,相關(guān)產(chǎn)品被國外壟斷,市場定價(jià)權(quán)掌握在國外廠商手中。為破1解壟斷危機(jī)、搶抓市場機(jī)遇,特種氣體公司,718所于2000年組建特種氣體工程部,自籌經(jīng)費(fèi)立項(xiàng)開展研究,于2009年成功開發(fā)出高純?nèi)T摦a(chǎn)品被列入國家“重點(diǎn)新產(chǎn)品”及“火炬計(jì)劃”,應(yīng)用于國內(nèi)大部分的半導(dǎo)體、液晶、太陽能行業(yè),特種氣體供應(yīng),并出口美國、日本、法國、德國等國家。

半導(dǎo)體器件性能的好壞,在很大程度上取決于所用電子氣體的質(zhì)量,電子氣體純度每提高一個(gè)數(shù)量級(jí),都會(huì)極大地1推動(dòng)半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍,正因如此,發(fā)達(dá)國家都在積極發(fā)展具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電子化學(xué)氣體,并且取得了明顯的效果,由于電子氣體質(zhì)量決定著ic技術(shù)的發(fā)展,而半導(dǎo)體器件又廣泛地應(yīng)用于民用和軍1工領(lǐng)域,且發(fā)展勢頭強(qiáng)勁,它影響到國民經(jīng)濟(jì)和國防的許多方面,因此,有關(guān)電子氣體的生產(chǎn)、凈化、包裝、分析等在國際上多屬高度保密的技術(shù)。同光電子、微電子工業(yè)一樣,西安特種氣體,我國電子氣體的研究與生產(chǎn)起步較晚,資金投入量也顯得相對(duì)不足。改革開放以來,中國政府已將ic產(chǎn)業(yè)列為國家重點(diǎn)發(fā)展的支柱產(chǎn)業(yè),因此,電子工業(yè)、光電子產(chǎn)業(yè)、光纖制造業(yè)發(fā)展迅猛。

高純氣體輸送及儲(chǔ)運(yùn)也是影響電子氣體質(zhì)量的關(guān)鍵因素。超高純氣體的生產(chǎn)和應(yīng)用要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器、相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口,要求相應(yīng)器件耐高壓、耐高真空,特種氣體多少錢,對(duì)于腐蝕性氣體要求耐腐蝕,以避免二次污染的發(fā)生。隨著氣體純度的提高、產(chǎn)品種類的增多,對(duì)包裝容器的要求也越來越高,對(duì)于氣瓶內(nèi)壁處理技術(shù)以及氣密性好無污染的閥門、減壓器、過濾器等的研制提出了較高要求。

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